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精密运动平台 LPM系列

日期：9/22/2018 6:39:20 PM　人气：865

精密运动平台 LPM系列

采用无铁芯直线电机BUM系列
低速度波动小
采用光栅尺或磁栅尺，分辨率可达0.1μm
定位精度达5μm，重复定位精度可达1μm

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